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開放式光柵尺位移大小和方向的檢測

作者: 來源: 日期:2023/4/14 10:20:33 人氣:4800

開放式光柵尺位移大小和方向的檢測

 

1.開放式光柵尺位移大小的檢測

由于莫爾條紋的移動與兩光柵尺之間的相對移動是相對應的,故通過檢測 這4個電壓信號的變化情況,便可相應地檢測出兩光柵尺之間的相對移動。 每變化一個周期,即莫爾條紋每變化一個周期,表明兩光柵尺相對移動了一個柵距的距離;若兩光柵尺之間的相對移動不到一個柵距,因 是余弦函數,故根據 之值也可以計算出其相對移動的距離。

 

2.開放式光柵尺位移方向的檢測

若標尺光柵固定不動,指示光柵沿正方向移動,這時,莫爾條紋相應地沿向下的方向移動,透過觀察窗口A和B,光敏元件檢測到的光強度變化過程 和及輸出的相應的電壓信號在這種情況下,滯后的相位為/2;反之,若標尺光柵固定不動,指示光柵沿負方向移動,這時,莫爾條紋則相應地沿向上的方向移動,透過觀察窗口A和B,光敏元件檢測到的光強度變化過程和 及輸出的相應的電壓信號,在這種情況下,超前的相位為/2。因此,根據和兩信號相互間的超前和滯后關系,便可確定出兩光柵尺之間的相對移動方向。

 

工作原理:

直線光柵尺和旋轉編碼器均依據相對運動的原理來產生光信號,這些信號經過光電器件的轉換處理后,用來檢測機械裝置的位移。大星精密采用兩種不同的材料來產生反饋信號:

1.刻線玻璃尺(直線光柵尺 有效測量長度3米以下使用)刻線玻璃盤片(旋轉編碼器)

2.刻線鋼帶尺(直線光柵尺 有效測量長度3米以上使用)

 

開放式光柵尺規格

分辨率

0.05μm/ 0.1μm/0.2μm/0.5μm/1.0μm/ 5.0μm

精度/米
雙層尺帶
±1μm /±2μm / ±3μm / ±5μm
單層尺帶
±5μm / 其它可定制
最大速度
10m/s (對于正弦信號)  1.6m/s (R:0.1μm)
讀頭尺寸
34mm x 13.2mm x 12.4mm
光柵周期
20μm / 100μm
尺帶材料,熱膨脹系數
不銹鋼,10.5x10-6grd-1
輸出信號
1Vpp / RS422
參考原點
標準: 固定距離 ,每50mm一個/其他可定制

下一個:開放式光柵尺測量注意事項
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